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石墨烯生长炉(PECVD)

  产品说明:   石墨烯生长炉由YB-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成,可以是单温区、双温区、三温区等,在真空可以达到10…

产品详情

  产品说明:

  石墨烯生长炉由YB-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成,可以是单温区、双温区、三温区等,在真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

  软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

  一:基本参数:

  1:加热炉部分

  2:炉膛模式开启式炉膛

  3:显示模式触摸屏

  4:温度1400℃

  5:工作温度≤1350℃

  6:升温速率建议10℃/Min Max:30℃/Min

  7:预热温区长度150mm

  8:主温区长度300mm

  9:预热温区移动手动移动

  10:主温区移动自动移动,速度可以设定

  二:设备特点:

  1:设备规格2000*85*1400mm(长*宽*高)

  2:炉管长度2000mm

  3:控温精度±1℃

  4:密封方式快速法兰密封

  5:温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设

  6:预存曲线可预存15条温度曲线

  7:超温报警有

  8:过流保护有

  9:断偶提示有

  10:测温元件s型热电偶

  11:炉膛材料氧化铝纤维

  12:射频电源功率

  13:信号频率13.56 MHz±0.005%

  14:功率输出范围5W-500W

  15:功率稳定度±0.1%

  16:谐波分量≤-50dbc

  17:供电电压单相交流(187V-253V)频率50/60HZ

  18:整机效率>=70%

  19:功率因素>=90%

  20:冷却方式强制风冷

  真空部分

  1:工作电电压220V±10%50~60HZ

  2:功率500瓦

  3:抽气速率4L\s

  4:进气口口径KF25

  5:排气口口径KF25

  6:转速1450rpm

  7:噪音55dB

  9:真空4X10-2Pa

  气路系统

  1,2,3,4气路采用DB07系列

  准确度:±1.5%

  重复精度:±0.2%

  响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

  工作压差范围:0.1~0.5 MPa

  整机系统特色

  正压测量-100Kpa---100Kpa

  真空测量-100Kpa

  超压保护超压保护值可以设定

  压力恒定恒定压力值可以设定

  智能气路气路系统可以编程

  气路定时通气时间可以设定

  射频工作时间设定辉光放电时间可以设定,自动关机

  移动速度调节移动速度可以设定

  系统真空度5Pa


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